[发明专利]干涉仪系统及其使用方法有效
| 申请号： | 201711244872.2 | 申请日： | 2017-11-30 |
| 公开（公告）号： | CN109855530B | 公开（公告）日： | 2021-03-09 |
| 发明（设计）人： | 吴萍 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备（集团）股份有限公司 |
| 主分类号： | G01B9/02 | 分类号： | G01B9/02 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种干涉仪系统，包括：光束入射单元、光束调节单元、干涉仪光路单元、第一光束接收单元和第二光束接收单元，光束调节单元包括分光镜单元和偏振单元，光束入射单元传输不同频率和偏振态的输入光束，分光镜单元用于将输入光束各分出一路参考光经所述偏振单元合束后进入第一光束接收单元，且还分出两路从不同位置入射至干涉仪光路单元的入射光，干涉仪光路单元的输出光束经偏振单元合束后进入第二光束接收单元，干涉仪光路单元的输出光束中的频率混叠光束经偏振单元后远离第二光束接收单元。本发明提出了一种干涉仪系统及其使用方法，可以将两个频率的光分开传输，并入射到传统双频干涉仪中，有效降低偏振频率混叠的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 干涉仪 系统 及其 使用方法 | ||
【主权项】：
1.一种干涉仪系统，其特征在于，包括：光束入射单元、光束调节单元、干涉仪光路单元、第一光束接收单元和第二光束接收单元，所述光束调节单元包括分光镜单元和偏振单元，所述光束入射单元传输不同频率和偏振态的输入光束，所述分光镜单元用于将所述输入光束各分出一路参考光经所述偏振单元合束后进入所述第一光束接收单元，且还分出两路从不同位置入射至所述干涉仪光路单元的入射光，所述干涉仪光路单元的输出光束经所述偏振单元合束后进入所述第二光束接收单元，所述干涉仪光路单元的输出光束中的频率混叠光束经所述偏振单元后远离所述第二光束接收单元。
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