[发明专利]掩膜板有效
| 申请号： | 201711244323.5 | 申请日： | 2017-11-30 |
| 公开（公告）号： | CN107740042B | 公开（公告）日： | 2021-04-06 |
| 发明（设计）人： | 张雪峰;柯贤军;苏君海;李建华 | 申请（专利权）人： | 信利（惠州）智能显示有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 叶剑 |
| 地址： | 516029 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 一种掩膜板，包括：第一掩膜基板和第二掩膜基板；第一掩膜基板开设有若干第一开口，第二掩膜基板开设有若干第二开口，每一第一开口与一第二开口一一对应；第二掩膜基板设置在第一掩膜基板上并与第一掩膜基板活动抵接，每一第一开口与其所对应的第二开口至少部分重叠。上述掩膜板，第一掩膜基板上开设第一开口，第二掩膜基板上开设第二开口，第一开口和第二开口的重叠部分组成掩膜板的开口以允许有机材料通过，第一开口和第二开口的尺寸可以设计较大、精度较低，以降低工艺难度，而最终掩膜板的开口根据需要由第一开口与第二开口重叠部分确定，仍然能够形成尺寸小、精度高的满足需求的掩模板的开口。 | ||
| 搜索关键词： | 掩膜板 | ||
【主权项】：
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