[发明专利]用于超高真空腔体的等离子体清洗抛光装置有效
| 申请号： | 201711236830.4 | 申请日： | 2017-11-30 |
| 公开（公告）号： | CN108004587B | 公开（公告）日： | 2020-02-04 |
| 发明（设计）人： | 刘大猛;张晨辉;王婷;雒建斌;赵嘉峰;欧宏炜;鹿建;王艳会 | 申请（专利权）人： | 清华大学;费勉仪器科技(上海)有限公司 |
| 主分类号： | C25F3/16 | 分类号： | C25F3/16;C25F7/00 |
| 代理公司： | 11127 北京三友知识产权代理有限公司 | 代理人： | 王春光 |
| 地址： | 10008*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种用于超高真空腔体的等离子体清洗抛光装置，其包括放电电极、储气罐和抽气泵，所述放电电极位于待清洗的超高真空腔体内，所述待清洗的超高真空腔体的底壁上嵌设电极座，所述放电电极的一端插设于所述电极座内，所述电极座与直流电源电连接，所述储气罐与所述待清洗的超高真空腔体的一端相连，所述抽气泵与所述待清洗的超高真空腔体的另一端相连。本发明能在超高真空腔体内壁无损的情况下实现清洗和抛光，节能环保。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 超高 空腔 等离子体 清洗 抛光 装置 | ||
【主权项】：
1.一种用于超高真空腔体的等离子体清洗抛光装置，其特征在于，所述用于超高真空腔体的等离子体清洗抛光装置包括放电电极、储气罐和抽气泵，所述放电电极位于待清洗的超高真空腔体内，所述待清洗的超高真空腔体的底壁上嵌设电极座，所述放电电极的一端插设于所述电极座内，所述放电电极通过所述电极座与直流电源电连接，所述储气罐与所述待清洗的超高真空腔体的一端相连，所述抽气泵与所述待清洗的超高真空腔体的另一端相连；/n所述待清洗的超高真空腔体的底壁上设有开孔，所述电极座包括插设于所述开孔内的插入部和位于所述待清洗的超高真空腔体外的基体部，所述插入部上套设密封铜垫圈，所述密封铜垫圈位于所述基体部与所述待清洗的超高真空腔体的底壁之间。/n
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