[发明专利]一种离子源束流均匀性测量装置有效
| 申请号： | 201711228571.0 | 申请日： | 2017-11-29 |
| 公开（公告）号： | CN108051844B | 公开（公告）日： | 2019-11-05 |
| 发明（设计）人： | 胡庆为 | 申请（专利权）人： | 北京创昱科技有限公司 |
| 主分类号： | G01T1/29 | 分类号： | G01T1/29 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人： | 王莹;吴欢燕 |
| 地址： | 102209 北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及真空中电源束流测量技术领域，尤其涉及一种离子源束流均匀性测量装置。该测量装置包括离子源和栅网，所述栅网设于所述离子源的离子出口，以从所述离子源内吸引出离子并形成离子源束流，还包括支架、电流表和多个安装于所述支架上的探头，多个所述探头均位于所述离子源束流的区域内，所述探头的第一端用于接收所述离子源发出的正离子，所述探头的第二端与所述电流表的输入端连接，所述电流表的输出端接地。本测量装置放置在离子源束流的区域内，能够有效测量离子源束流区域内的均匀性状况。本测量装置结构简单，成本低廉，操作方便，大大节省了操作人员的时间及精力。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 离子源 均匀 测量 装置 | ||
【主权项】：
1.一种离子源束流均匀性测量装置，包括离子源和栅网，所述栅网设于所述离子源的离子出口，以从所述离子源内吸引出离子并形成离子源束流，其特征在于，还包括支架、电流表和多个安装于所述支架上的探头，多个所述探头均位于所述离子源束流的区域内，所述探头的第一端用于接收所述离子源发出的正离子，所述探头的第二端与所述电流表的输入端连接，所述电流表的输出端接地；多个所述探头竖向排列于所述支架上；还包括可横向移动的载台，且所述载台的下方设有与所述载台的移动路径相对应的刻度尺，所述支架设于所述载台上。
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