[发明专利]硅片制绒槽

摘要

本发明公开了一种能够保证槽体内溶液温度，便于制绒温度控制的硅片制绒槽。该硅片制绒槽，包括槽体、加热控制器；所述槽体的一端设置有入水槽，另一端设置有出水槽；所述入水槽一端通过第一匀流板与槽体连通，另一端的上方设置有入水箱；所述入水槽内由一端向另一端依次设置有横向加热电阻、竖向加热电阻以及搅拌装置；所述横向加热电阻位于入水箱的下方；且在竖直方向上均匀分布；所述竖向加热电阻沿水平方向上均匀分布；所述出水槽的一端通过第二匀流板与槽体连通，另一端设置有出水口；所述槽体的底部设置有保温加热电阻，所述槽体内设置有温度传感器。采用该硅片制绒槽，温度控精度高，整个工艺槽内化学反应稳定，可控，便于工艺调整。

主权项

1.硅片制绒槽，其特征在于：包括槽体(1)、加热控制器(9)；所述槽体(1)的一端设置有入水槽(2)，另一端设置有出水槽(3)；/n所述入水槽(2)一端通过第一匀流板(7)与槽体(1)连通，另一端的上方设置有与入水槽(2)连通的入水箱(4)；所述入水箱(4)具有入水口(41)，所述入水槽(2)内由入水槽(2)的一端向另一端依次设置有横向加热电阻(12)、竖向加热电阻(5)以及搅拌装置(6)；所述横向加热电阻(12)位于入水箱(4)的下方；且在竖直方向上均匀分布；所述竖向加热电阻(5)沿水平方向上均匀分布；所述搅拌装置(6)位于第一匀流板(7)的一侧；/n所述出水槽(3)的一端通过第二匀流板(8)与槽体(1)连通，另一端设置有出水口(31)；所述槽体(1)的底部设置有保温加热电阻(10)，所述槽体(1)内设置有温度传感器，所述温度传感器、横向加热电阻(12)、竖向加热电阻(5)以及保温加热电阻(10)均与加热控制器(9)电连接。/n