[发明专利]硅片制绒槽

说明书

本发明公开了一种能够保证槽体内溶液温度，便于制绒温度控制的硅片制绒槽。该硅片制绒槽，包括槽体、加热控制器；所述槽体的一端设置有入水槽，另一端设置有出水槽；所述入水槽一端通过第一匀流板与槽体连通，另一端的上方设置有入水箱；所述入水槽内由一端向另一端依次设置有横向加热电阻、竖向加热电阻以及搅拌装置；所述横向加热电阻位于入水箱的下方；且在竖直方向上均匀分布；所述竖向加热电阻沿水平方向上均匀分布；所述出水槽的一端通过第二匀流板与槽体连通，另一端设置有出水口；所述槽体的底部设置有保温加热电阻，所述槽体内设置有温度传感器。采用该硅片制绒槽，温度控精度高，整个工艺槽内化学反应稳定，可控，便于工艺调整。

技术领域

本发明涉及硅片的制绒，尤其是一种硅片制绒槽。

背景技术

众所周知的：硅片在经过一系列的加工程序之后需要进行清洗，清洗的目的是要消除吸附在硅片表面的各类污染物，并制作能够减少表面太阳光反射的绒面结构，且清洗的洁净程度直接影响着电池片的成品率和可靠率。制绒是制造晶硅电池的第一道工艺，又称“表面织构化”。有效的绒面结构使得入射光在硅片表面多次反射和折射，增加了光的吸收，降低了反射率，有助于提高电池的性能。

考虑到制绒工艺段对整个生产线的重要作用，针对影响制绒反应的因素，对设备工艺段的设计进行更加精细的调整：

制绒作为化学反应，首先应考虑反应的条件，即化学液的温度及各组分的浓度等。现在的工业生产对制绒工艺温度控制提出了较高的要求，为了保证反应条件的一致性，温控精度要在±1℃内，整个工艺槽内化学反应才能更稳定和可控，实现有效控制溶液的反应速度和挥发量，便于工艺调整。现有的制绒槽对溶液温度的控制不够稳定，无法保证制绒对溶液温度的要求。

发明内容

本发明所要解决的技术问题是提供一种能够保证槽体内溶液温度，便于制绒温度控制的硅片制绒槽。

本发明解决其技术问题所采用的技术方案是：硅片制绒槽，包括槽体、加热控制器；所述槽体的一端设置有入水槽，另一端设置有出水槽；

所述入水槽一端通过第一匀流板与槽体连通，另一端的上方设置有与入水槽连通的入水箱；所述入水箱具有入水口，所述入水槽内由入水槽的一端向另一端依次设置有横向加热电阻、竖向加热电阻以及搅拌装置；所述横向加热电阻位于入水箱的下方；且在竖直方向上均匀分布；所述竖向加热电阻沿水平方向上均匀分布；所述搅拌装置位于第一匀流板的一侧；

所述出水槽的一端通过第二匀流板与槽体连通，另一端设置有出水口；所述槽体的底部设置有保温加热电阻，所述槽体内设置有温度传感器，所述温度传感器、横向加热电阻、竖向加热电阻以及保温加热电阻均与加热控制器电连接。

进一步的，所述槽体具有的开槽口的上端上设置有保温加热装置。

进一步的，所述竖向加热电阻端延伸到槽体内，另一端设置有固定安装板，所述竖向加热电阻穿过固定安装板且与固定安装板螺纹配合。

进一步的，所述搅拌装置包括驱动电机、搅拌轴；所述搅拌轴竖直插入到槽体内，所述搅拌轴上设置有搅拌叶片，所述搅拌轴通过驱动电机驱动转动。

进一步的，所述搅拌叶片在搅拌轴上沿轴线方向均匀分布，且沿搅拌轴的圆周方向均匀分布。

进一步的，所述搅拌轴的轴线方向上同一高度的搅拌叶片为搅拌叶片组；每组搅拌叶片组至少包括三片搅拌叶片。

进一步的，在搅拌轴上至少具有三组搅拌叶片组。