[发明专利]辊到辊制造设备和处理柔性膜的方法

摘要

本发明公开了一种辊到辊制造设备和一种处理柔性膜的方法，该辊到辊制造设备包括：真空室，其具有安装室和工艺室；在安装室中的预处理单元，用于处理被传送的膜的表面以增强在随后的CVD工艺中的膜特性；在工艺室中的工艺筒，用于在其上卷绕膜；在工艺室中的工艺处理单元，通过对卷绕在工艺筒上的膜进行CVD工艺来形成层；以及在安装室和工艺室中的多个加热器，用于逐渐增加卷绕在工艺筒上的膜的温度，以防止由于高温工艺筒而对膜施加热冲击。

主权项

一种辊到辊制造设备，包括：真空室，所述真空室具有安装室和工艺室；在所述安装室中的预处理单元，用于处理被传送的膜的表面；在所述工艺室中的工艺筒，用于在其上卷绕所述膜；在所述工艺室中的工艺处理单元，用于处理卷绕在所述工艺筒上的所述膜；以及在所述安装室和所述工艺室中的至少一个中的多个加热器，用于逐渐地增加卷绕在所述工艺筒上的所述膜的温度。