[发明专利]一种微尺寸器件光电计数系统在审
| 申请号： | 201711159164.9 | 申请日： | 2017-11-20 |
| 公开（公告）号： | CN109816084A | 公开（公告）日： | 2019-05-28 |
| 发明（设计）人： | 杨蔡 | 申请（专利权）人： | 成都永和光学有限公司 |
| 主分类号： | G06M1/272 | 分类号： | G06M1/272 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 610512 四川*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种微尺寸器件光电计数系统，包括：激光探测器、电机、信号处理模块和中央处理器；所述中央处理器发出开始信号，启动激光光源，由电机带动激光探测器探测器对器件进行探测，器件产生反射光折回；激光探测器内的光电传感器接受反射光产生的信号，经信号处理模块对信号整形、放大，形成规则的脉冲信号，送入中央处理器计数系统计数，最后根据需要显示、打印及存储；本发明设计简洁，成本低廉，在实验室条件下，实现对实验样品器件的计数操作，与传统计数方法相比，可以得出较为准确的测量数据，解决目前微尺寸器件大批量计数问题。 | ||
| 搜索关键词： | 激光探测器 微尺寸器件 中央处理器 光电计数系统 信号处理模块 反射光 光电传感器 实验室条件 测量数据 电机带动 激光光源 计数操作 计数问题 计数系统 开始信号 脉冲信号 实验样品 信号整形 折回 探测器 打印 送入 存储 电机 放大 探测 | ||
【主权项】：
1.一种微尺寸器件光电计数系统，其特征在于，包括：激光探测器、电机、信号处理模块和中央处理器；所述中央处理器发出开始信号，启动激光光源，由电机带动激光探测器探测器对器件进行探测，器件产生反射光折回；激光探测器内的光电传感器接受反射光产生的信号，经信号处理模块对信号整形、放大，形成规则的脉冲信号，送入中央处理器计数系统计数，最后根据需要显示、打印及存储。
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