[发明专利]一种二氧化钒纳米团簇及其制备方法在审
| 申请号： | 201711158935.2 | 申请日： | 2017-11-20 |
| 公开（公告）号： | CN107955934A | 公开（公告）日： | 2018-04-24 |
| 发明（设计）人： | 樊乐乐;王峰;陈星;张勤芳;朱雷;孟强强 | 申请（专利权）人： | 盐城工学院 |
| 主分类号： | C23C14/14 | 分类号： | C23C14/14;C23C14/35;C23C14/58;C01G31/02;B82Y40/00 |
| 代理公司： | 北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙)11371 | 代理人： | 邓超 |
| 地址： | 224000 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 一种二氧化钒纳米团簇及其制备方法，其涉及功能性薄膜制备技术领域。该二氧化钒纳米团簇的制备方法通过利用气相团簇束流沉积系统进行二氧化钒纳米团簇的制备，其先后经过了金属钒纳米团簇沉积和后退火处理两个步骤，其不但表现出了工艺简单、纳米团簇颗粒制备效率高且尺寸可控的优点，而且所制备出的二氧化钒纳米团簇具有尺寸小、颗粒均匀、物相单一的特点。因此，上述的二氧化钒纳米团簇及其制备方法在气敏材料、光电探测材料领域将具有重要的应用价值。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 氧化 纳米 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种二氧化钒纳米团簇的制备方法，其特征在于，其包括：金属钒纳米团簇沉积：采用气体磁控溅射的方式将金属钒靶材溅射沉积到沉积室的衬底上；后退火处理：对沉积在所述衬底上的所述金属钒纳米团簇进行加热，并在所述沉积室中引入氧气，完成对所述金属钒纳米团簇的退火处理。
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