[发明专利]一种防着板及其制备方法和应用有效
| 申请号： | 201711156237.9 | 申请日： | 2017-11-20 |
| 公开（公告）号： | CN107946164B | 公开（公告）日： | 2019-09-27 |
| 发明（设计）人： | 张军 | 申请（专利权）人： | 深圳市华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;C23C24/04 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人： | 郝传鑫;熊永强 |
| 地址： | 518132 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种防着板，所述防着板包括基板以及位于所述基板上的第一金属层和位于所述第一金属层的上的第二金属层，所述第一金属层的熔点低于所述第二金属层的熔点。当外界温度达到或超过第一金属层的熔点，第一金属层连带第二金属层以及溅镀的薄膜层就可以整体从基板剥离，达到清洗防着板的目的，操作简单方便，便于清洗防着板。本发明还提供了一种防着板的制备方法和应用。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 防着 及其 制备 方法 应用 | ||
【主权项】：
1.一种防着板，其特征在于，包括基板以及位于所述基板上的第一金属层和位于所述第一金属层的上的第二金属层，所述第一金属层的熔点低于所述第二金属层的熔点，所述第一金属层的熔点为47℃‑400℃，当所述防着板清洗时外界温度达到或者超过所述第一金属层的熔点，所述第一金属层和第二金属层从所述基板上剥离。
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