[发明专利]一种回收溅射靶材的熔炼方法在审
| 申请号： | 201711148785.7 | 申请日： | 2017-11-17 |
| 公开（公告）号： | CN107955881A | 公开（公告）日： | 2018-04-24 |
| 发明（设计）人： | 吴景晖;姚力军;徐超 | 申请（专利权）人： | 宁波创润新材料有限公司 |
| 主分类号： | C22B7/00 | 分类号： | C22B7/00;C22B9/22;C23C14/34 |
| 代理公司： | 上海申新律师事务所31272 | 代理人： | 俞涤炯 |
| 地址： | 315460 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种回收溅射靶材的熔炼方法，包括如下步骤；(1)检测分析回收靶材、高纯低氧金属晶体/粉末、及其气体、杂质含量，计算回收靶材与高纯低氧金属晶体/粉末的用量配比；(2)计算出铺满料仓后回收靶材的层数；(3)将高纯低氧金属晶体/粉末混合均匀后压成块体；(4)将回收靶材与块体层叠堆放，并铺满料仓；(5)进行熔炼铸锭。本发明提供的回收溅射靶材的熔炼方法，有效的降低回收靶材重熔铸锭的氧含量、均衡金属杂质含量，使铸锭成分分布均匀、稳定且符合半导体等行业的需求，提高回收靶材利用价值，提高高纯金属的产能。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 回收 溅射 熔炼 方法 | ||
【主权项】：
一种回收溅射靶材的熔炼方法，其特征在于，包括如下步骤；(1)检测分析回收靶材、高纯低氧金属晶体/粉末、及其气体、杂质含量，计算所述回收靶材与所述高纯低氧金属晶体/粉末的用量配比；(2)根据计算好的用量配比、料仓长度、以及回收靶材的长度，计算出铺满料仓后回收靶材的层数；(3)将高纯低氧金属晶体/粉末混合均匀后压成块体；(4)将回收靶材与块体层叠堆放，并铺满料仓；(5)将层叠后的回收靶材和块体放入电子束熔炼炉中，进行熔炼铸锭。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于宁波创润新材料有限公司，未经宁波创润新材料有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201711148785.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
