[发明专利]一种制备二硫化钼溅射靶材的方法有效
| 申请号： | 201711140433.7 | 申请日： | 2017-11-16 |
| 公开（公告）号： | CN107815654B | 公开（公告）日： | 2020-02-11 |
| 发明（设计）人： | 席莎;崔玉青;李晶;王娜;安耿;武洲;朱琦 | 申请（专利权）人： | 金堆城钼业股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/06 |
| 代理公司： | 61213 西安创知专利事务所 | 代理人： | 谭文琰 |
| 地址： | 710077 陕西省西*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种制备二硫化钼溅射靶材的方法，该方法包括：一、将二硫化钼原料粉末进行低压压制处理，得到二硫化钼坯料；二、将二硫化钼坯料在惰性气体保护下进行球磨，得到二硫化钼粉末；三、将二硫化钼粉末装入胶套内进行冷等静压处理，得到二硫化钼成形坯料；四、将二硫化钼成形坯料装入包套中，抽真空焊封后进行热等静压烧结处理，再除去包套，得到二硫化钼靶材粗品；五、将二硫化钼靶材粗品进行机械加工和清洗，得到二硫化钼溅射靶材。本发明采用低压压制和球磨工艺，将二硫化钼原料粉末由不规则片状结构转变为类球形颗粒状结构，提高了粉末的可压性，增强了粉末之间的结合力，改善了二硫化钼溅射靶材的质量。 | ||
| 搜索关键词： | 二硫化钼 溅射靶材 二硫化钼粉末 二硫化钼靶 成形坯料 低压压制 原料粉末 包套 粗品 坯料 装入 惰性气体保护 热等静压烧结 类球形颗粒 机械加工 冷等静压 片状结构 球磨工艺 不规则 抽真空 结合力 可压性 焊封 胶套 球磨 制备 清洗 | ||
【主权项】：
1.一种制备二硫化钼溅射靶材的方法，其特征在于，该方法包括以下步骤：/n步骤一、将二硫化钼原料粉末进行低压压制处理，得到二硫化钼坯料；所述低压压制处理的压力为20MPa～120MPa，时间为20s～360s；/n步骤二、将步骤一中得到的二硫化钼坯料和钼球一起放入三维球磨机中，在惰性气氛保护下进行球磨，得到二硫化钼粉末；所述球磨过程中二硫化钼粉末和钼球的质量比为1：1～4，球磨的时间为0.5h～3h；/n步骤三、将步骤二中得到的二硫化钼粉末装入胶套内进行冷等静压处理，得到二硫化钼成形坯料；所述冷等静压处理的压力为100MPa～500MPa，保压时间为3min～60min；/n步骤四、将步骤三中得到的二硫化钼成形坯料装入包套中，抽真空焊封后进行热等静压烧结处理，再除去包套，得到二硫化钼靶材粗品；所述热等静压烧结处理的温度为500℃～1200℃，压力为50MPa～500MPa，时间为50min～300min；/n步骤五、将步骤四中得到的二硫化钼靶材粗品进行机械加工和清洗，最终得到二硫化钼溅射靶材。/n
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