[发明专利]一种压电谐振器和压电谐振器的制备方法在审
| 申请号： | 201711121168.8 | 申请日： | 2017-11-14 |
| 公开（公告）号： | CN107733395A | 公开（公告）日： | 2018-02-23 |
| 发明（设计）人： | 何军;其他发明人请求不公开姓名 | 申请（专利权）人： | 安徽云塔电子科技有限公司 |
| 主分类号： | H03H9/15 | 分类号： | H03H9/15;H03H3/04;H03H3/10 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司11332 | 代理人： | 孟金喆 |
| 地址： | 230088 安徽省合肥市高新区*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明实施例公开了一种压电谐振器和压电谐振器的制备方法。其中，压电谐振器包括衬底，所述衬底的上表面形成有一凹槽；第一压电层，覆盖于所述衬底的上表面以及所述凹槽的开口，以使所述凹槽与所述第一压电层形成空腔；第一电极和温度补偿层，设置在所述第一压电层远离所述衬底的一侧，在垂直于所述衬底的方向上，所述第一电极在所述衬底上的投影位于所述凹槽所在的区域。本发明实施例通过在衬底的上表面形成有一凹槽，使凹槽与第一压电层形成空腔，可以有效避免了声波能量泄漏到衬底中，降低了声波能量在衬底中的损耗，可得到高Q值的压电谐振器；并且设置的温度补偿层的投影位于空腔的区域内，可以有效改善温度补偿效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 压电 谐振器 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种压电谐振器，其特征在于，包括：衬底，所述衬底的上表面形成有一凹槽；第一压电层，覆盖于所述衬底的上表面以及所述凹槽的开口，以使所述凹槽与所述第一压电层形成空腔；第一电极和温度补偿层，设置在所述第一压电层远离所述衬底的一侧，在垂直于所述衬底的方向上，所述第一电极在所述衬底上的投影位于所述凹槽所在的区域。
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