[发明专利]接触孔的金属连接结构及其制造方法

摘要

本发明公开了一种接触孔的金属连接结构，包括：接触孔，形成于接触孔层介质膜中；接触孔层介质膜表面依次形成有自对准层介质膜和金属层介质膜；在自对准层介质膜的表面形成有打开定义金属连接通孔的形成区域的结构；金属层的形成区域由对金属层介质膜进行介质膜刻蚀形成，金属连接通孔的形成区域的自对准层介质膜在对金属层介质膜进行介质膜刻蚀的过程中被同时刻蚀去除，使金属连接通孔和金属层的形成区域呈自对准的一体化金属连接结构。本发明还公开了一种接触孔的金属连接结构的制造方法。本发明能使金属连接结构的通孔和正面金属层的形成区域呈自对准的一体化结构，从而有利于金属填充，降低工艺复杂度和工艺成本。

主权项

1.一种接触孔的金属连接结构，其特征在于，包括：接触孔，形成于接触孔层介质膜中；在所述接触孔层介质膜表面形成有自对准层介质膜；在所述自对准层介质膜的表面形成有金属层介质膜；金属连接通孔形成于所述自对准层介质膜中且位于对应的所述接触孔的顶部；金属层形成于所述金属层介质膜中；在所述自对准层介质膜的表面形成有打开定义所述金属连接通孔的形成区域的结构；所述金属层的形成区域由对所述金属层介质膜进行介质膜刻蚀形成，所述金属连接通孔的形成区域位于所述金属层的形成区域底部的局部区域中，所述金属连接通孔的形成区域的所述自对准层介质膜在对所述金属层介质膜进行介质膜刻蚀的过程中被同时刻蚀去除，使所述金属连接通孔和所述金属层的形成区域呈自对准的一体化金属连接结构。