[发明专利]在真空溅镀机的腔体内壁布置保护膜的方法在审
| 申请号： | 201711084305.5 | 申请日： | 2017-11-07 |
| 公开（公告）号： | CN109750262A | 公开（公告）日： | 2019-05-14 |
| 发明（设计）人： | 黄钲为 | 申请（专利权）人： | 黄钲为 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 北京华夏正合知识产权代理事务所(普通合伙) 11017 | 代理人： | 韩登营;曲芳兵 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明为一种在真空溅镀机的腔体内壁布置保护膜的方法，将真空溅镀机的腔体内壁清洁及表面干燥，黏贴保护膜在真空溅镀机的腔体内壁表面上，或是将真空溅镀机的腔体内壁清洁及表面干燥后，于真空溅镀机的腔体内壁表面上设置底材处理材料，待底材处理材料干燥后，形成底材处理层，于此底材处理层上设置可撕膜层材料，待可撕膜层材料干燥后，进而形成可撕膜层，此底材处理层与可撕膜层为真空溅镀机的腔体内壁的保护膜。 | ||
| 搜索关键词： | 真空溅镀机 腔体内壁 底材处理 可撕膜层 保护膜 表面干燥 材料干燥 清洁 | ||
【主权项】：
1.一种在真空溅镀机的腔体内壁布置保护膜的方法，其特征在于，其步骤包含：将真空溅镀机的腔体内壁清洁及表面干燥；将一保护膜黏贴在真空溅镀机的腔体内壁表面；其中，该保护膜为多层结构，与真空溅镀机的腔体内壁黏贴面为一底材处理层，于该底材处理层上具有一可撕膜层。
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