[发明专利]一种金属纳米粒子增强多孔ZnO光催化降解薄膜及其制备方法在审
申请号: | 201711066450.0 | 申请日: | 2017-11-02 |
公开(公告)号: | CN108014784A | 公开(公告)日: | 2018-05-11 |
发明(设计)人: | 杨为家;何鑫;杨成燕;吴健豪;刘铭全;沈耿哲;蓝秋明;刘俊杰;段峰;刘均炎 | 申请(专利权)人: | 五邑大学 |
主分类号: | B01J23/42 | 分类号: | B01J23/42;B01J35/10;C02F1/30 |
代理公司: | 广州市红荔专利代理有限公司 44214 | 代理人: | 吴伟文 |
地址: | 529000 广*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明提供一种金属纳米粒子增强多孔ZnO光催化降解薄膜及其制备方法,包括衬底层、多孔ZnO薄膜层、金属纳米粒子,利用ZnO在衬底层上真空热蒸镀一层ZnO薄膜,然后在箱式电阻炉中加热退火,并在得到结晶态的ZnO薄膜上旋涂光刻胶,曝光显影,获得需要刻蚀的孔洞的图案,然后醋酸溶液腐蚀结晶态的ZnO薄膜,得到多孔ZnO薄膜层,并在其上溅射一层金属薄膜,从而得到金属纳米粒子;本发明适用范围广、制备工艺简单、制备成本低,通过在ZnO薄膜的表面和孔洞溅射金属纳米粒子,有利于提高ZnO薄膜的光催化降解效率;另外通过孔洞增加了催化的面积,并且空洞形状可控性强,进一步提高了ZnO薄膜的催化效率。 | ||
搜索关键词: | 一种 金属 纳米 粒子 增强 多孔 zno 光催化 降解 薄膜 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
1.一种金属纳米粒子增强多孔ZnO光催化降解薄膜,其特征在于:包括衬底层、多孔ZnO薄膜层、金属纳米粒子,在所述的衬底层上生长多孔ZnO薄膜层,在多孔ZnO薄膜层表面上包覆有金属纳米粒子。
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