[发明专利]一种多自由度夹心式微纳操作器及其位移输出控制方法

摘要

一种多自由度夹心式微纳操作器及其位移输出控制方法，属于微纳操作技术领域，解决了现有微纳操作器存在的工作频率范围窄、输出力小和难以微型化的问题。所述微纳操作器m层压电陶瓷片堆叠且径向固定在基座与前端盖之间，压电陶瓷片沿圆周方向分为若干个极化分区，极化分区的数量大于或等于3，并沿着压电陶瓷片的轴向极化，每个极化分区均与激励电压源相连。所述微纳操作器的位移输出控制方法对压电陶瓷片上的极化分区施加正激励电压或负激励电压，并调整电压的幅值，使得压电陶瓷片整体伸长或缩短与电压幅值相应的长度以及使前端盖向负电压激励的极化分区的所在方位倾斜，以实现所述多自由度夹心式微纳操作器在多个自由度方向上的位移输出。

主权项

一种多自由度夹心式微纳操作器，其特征在于，所述微纳操作器包括基座(1)、m层压电陶瓷片(2)和前端盖(3)，m为正整数；m层压电陶瓷片(2)堆叠且径向固定在基座(1)与前端盖(3)之间；压电陶瓷片(2)沿圆周方向分为若干个极化分区(2‑1)，极化分区(2‑1)的数量大于或等于3，极化分区(2‑1)沿着压电陶瓷片(2)的轴向极化；每个极化分区(2‑1)均与激励电压源相连。