[发明专利]靶材组件的制造方法在审
| 申请号： | 201711024429.4 | 申请日： | 2017-10-27 |
| 公开（公告）号： | CN108000057A | 公开（公告）日： | 2018-05-08 |
| 发明（设计）人： | 刘树峰;鲁飞;李慧;李静雅;刘小鱼;娄树普;孙良成;白洋;成宇;郑天仓 | 申请（专利权）人： | 包头稀土研究院;瑞科稀土冶金及功能材料国家工程研究中心有限公司 |
| 主分类号： | B23P15/00 | 分类号： | B23P15/00 |
| 代理公司： | 北京康盛知识产权代理有限公司 11331 | 代理人： | 张良 |
| 地址： | 014030 内蒙古自*** | 国省代码： | 内蒙古;15 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种靶材组件的制造方法，包括：根据背板材质要求准备相应的背板粉末原料；准备待焊接的靶材板坯，靶材板坯包括溅射面和焊接面；将背板粉末原料和靶材板坯依次装入模具中，背板粉末原料和靶材板坯的焊接面相接触；将装有背板粉末原料和靶材板坯的模具放入真空热压烧结炉，同步进行背板热压烧结成型，以及靶材板坯与背板材料扩散焊接，得到靶材组件坯体；对得到的靶材组件坯体进行外形机加工处理得到靶材组件。本发明制造的靶材组件表面平整度高、弯曲变形小、焊合率高，背板致密度高，组件焊接成品率高。 | ||
| 搜索关键词： | 组件 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种靶材组件的制造方法，包括：根据背板材质要求准备相应的背板粉末原料；准备待焊接的靶材板坯，靶材板坯包括溅射面和焊接面；将背板粉末原料和靶材板坯依次装入模具中，背板粉末原料和靶材板坯的焊接面相接触；将装有背板粉末原料和靶材板坯的模具放入真空热压烧结炉，同步进行背板热压烧结成型，以及靶材板坯与背板材料扩散焊接，得到靶材组件坯体；对得到的靶材组件坯体进行外形机加工处理得到靶材组件。
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