[发明专利]一种带叉指的同心圆状MEMS低电导率传感器及使用方法有效
| 申请号： | 201710946611.9 | 申请日： | 2017-10-12 |
| 公开（公告）号： | CN107576854B | 公开（公告）日： | 2020-04-03 |
| 发明（设计）人： | 刘海韵;张振;陈嘉琪 | 申请（专利权）人： | 河海大学 |
| 主分类号： | G01R27/22 | 分类号： | G01R27/22 |
| 代理公司： | 南京纵横知识产权代理有限公司 32224 | 代理人： | 董建林 |
| 地址： | 211100 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种带叉指的同心圆状MEMS低电导率传感器及使用方法，包括绝缘衬底、中心圆形电极、带叉指的环形电极以及环形屏蔽电极，所述中心圆形电极、带叉指的环形电极以及环形屏蔽电极从内到外依次同心设置于绝缘衬底的同一表面；所有电极在相同位置通过片上引线连接相应的金属焊盘，带叉指的环形电极分为内侧测量环和外侧测量环。使用时，环形屏蔽电极接地用于屏蔽外界电磁干扰，在中心圆形电极上施加激励电流信号，测量内侧测量环与外侧测量环之间的电压，通过计算即可得出液体的电导率。带叉指的环形电极与被测液体的接触面积较大，能够提高测量精度，增强抗污染能力，同时，由于电极为环形或圆形结构，能够避免水流方向对测量结果的影响。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 带叉指 同心圆 mems 电导率 传感器 使用方法 | ||
【主权项】：
一种带叉指的同心圆状MEMS低电导率传感器，其特征是：包括绝缘衬底(1)、中心圆形电极(201)、带叉指的环形电极以及环形屏蔽电极(204)：所述中心圆形电极(201)、带叉指的环形电极以及环形屏蔽电极(204)从内到外依次同心设置于绝缘衬底(1)的同一表面；所述中心圆形电极(201)、带叉指的环形电极及环形屏蔽电极(204)在相同位置均设通过片上引线连接相应的金属焊盘；所述带叉指的环形电极分为内侧测量环(202)和外侧测量环(203)。
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