[发明专利]平面研磨装置有效
| 申请号： | 201710938104.0 | 申请日： | 2017-09-30 |
| 公开（公告）号： | CN107914212B | 公开（公告）日： | 2021-03-30 |
| 发明（设计）人： | 井上裕介;吉原秀明 | 申请（专利权）人： | 创技股份有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/08 | 分类号： | B24B37/08;B24B37/34 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 陈伟;刘伟志 |
| 地址： | 日本神*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种平面研磨装置，一边对工件进行计测一边对工件的平面进行研磨，其通过抑制由旋转侧接头部的旋转角度引起的光强度的变动来抑制在光纤(光缆)中传送的光信号的光强度的变动。平面研磨装置(1)具备光旋转接头(60)、将光旋转接头(60)的一次侧与光源(3)连接的一次侧光纤(光缆)(51)、和将光旋转接头(60)的二次侧与计测器(探头)(41)连接的二次侧光纤(光缆)(52)。光旋转接头(60)具有与一次侧光纤(光缆)(51)连接并相对于机体固定地设置的静止侧接头部、和与二次侧光纤(光缆)(52)连接并与上定盘(20)的旋转轴线一起旋转的旋转侧接头部，在从光源(3)至静止侧接头部之间设有输出圆偏振的激光的圆偏振光输出部(53)。 | ||
| 搜索关键词： | 平面 研磨 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于创技股份有限公司，未经创技股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201710938104.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种超临界CO
- 下一篇：电路板、电路板制作方法、温度检测方法及电子设备
