[发明专利]线缆支撑机构有效
| 申请号： | 201710931323.6 | 申请日： | 2017-10-09 |
| 公开（公告）号： | CN109634060B | 公开（公告）日： | 2020-04-10 |
| 发明（设计）人： | 管博然;刘屈武;黄亚庆;李志龙 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备（集团）股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种线缆支撑机构，所述线缆支撑机构包括固定模块、随动模块及支撑转接模块；所述固定模块固定在底部框架上；所述随动模块固定在线缆的可活动部分上；所述支撑转接模块分别连接所述固定模块和所述随动模块以支撑所述随动模块及所述线缆。实现了在工作台运动时，多层线缆垂向全程无摩擦跟随支撑，不占用垂向空间，为线缆本身预留出更多的空间；同时去掉了原始设计中不必要的机构，精简结构，提升了线缆支撑机构的可维护性以及可靠性。 | ||
| 搜索关键词： | 线缆 支撑 机构 | ||
【主权项】：
1.一种线缆支撑机构，所述线缆的一端固定在一底部框架上，其特征在于，所述线缆支撑机构包括固定模块、随动模块及支撑转接模块；所述固定模块固定在所述底部框架上；所述随动模块固定在所述线缆的可活动部分上；所述支撑转接模块分别连接所述固定模块和所述随动模块以支撑所述随动模块及所述线缆。
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