[发明专利]一种扫描线圈、扫描电镜及扫描线圈的灌封装置有效
| 申请号： | 201710859427.0 | 申请日： | 2017-09-21 |
| 公开（公告）号： | CN107768220B | 公开（公告）日： | 2019-05-31 |
| 发明（设计）人： | 孟祥良 | 申请（专利权）人： | 北京中科科仪股份有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/147 | 分类号： | H01J37/147;H01J37/26;H01J37/28 |
| 代理公司： | 北京三聚阳光知识产权代理有限公司 11250 | 代理人： | 李旦华 |
| 地址： | 100190 北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明的一种扫描线圈、扫描电镜及扫描线圈的灌封装置，其中扫描线圈包括骨架，设置在所述骨架上的电路板，固定在所述骨架上的线圈，还包括将所述骨架、线圈、电路板封装一体的封装胶体层，且所述电路板的接线端伸出所述封装胶体层外。封装胶体层将所述骨架、线圈、电路板封装一体，该扫描线圈为一体结构，在镜筒内安装固定方便，相对于中心轴线旋转对称性较高。灌封装置设有对所述扫描线圈进行同轴定位，使所述扫描线圈的骨架的轴线与所述灌封腔的轴线同轴的定位结构，能保证灌封后的扫描线圈相对于中心轴线具有较高的旋转对称性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 扫描 线圈 扫描电镜 装置 | ||
【主权项】：
1.一种扫描线圈，用于扫描电镜，包括骨架，设置在所述骨架上的电路板，固定在所述骨架上的线圈，其特征在于，还包括将所述骨架、线圈、电路板封装一体的封装胶体层，且所述电路板的接线端伸出所述封装胶体层外，所述封装胶体层与所述骨架同轴设置。
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