[发明专利]一种扫描线圈、扫描电镜及扫描线圈的灌封装置

说明书

本发明的一种扫描线圈、扫描电镜及扫描线圈的灌封装置，其中扫描线圈包括骨架，设置在所述骨架上的电路板，固定在所述骨架上的线圈，还包括将所述骨架、线圈、电路板封装一体的封装胶体层，且所述电路板的接线端伸出所述封装胶体层外。封装胶体层将所述骨架、线圈、电路板封装一体，该扫描线圈为一体结构，在镜筒内安装固定方便，相对于中心轴线旋转对称性较高。灌封装置设有对所述扫描线圈进行同轴定位，使所述扫描线圈的骨架的轴线与所述灌封腔的轴线同轴的定位结构，能保证灌封后的扫描线圈相对于中心轴线具有较高的旋转对称性。

技术领域

本发明涉及扫描线圈灌封技术领域，具体涉及一种扫描线圈、扫描电镜及扫描线圈的灌封装置。

背景技术

扫描电镜是一种电子光学仪器，利用聚焦电子束在样品表面进行逐行扫描，电子束轰击样品表面产生二次电子或背散射电子，其产生的效率与样品表面形貌或材料相关，将样品表面产生的二次电子或背散射电子收集起来，并将样品表面电子束扫描的位置和产生的二次电子或背散射电子的数量用二维图像的形式表示，即得到扫描电镜的二次电子图像或背散射电子图像。扫描电镜图像的分辨率可达到纳米级甚至优于1.0纳米，在新材料、新能源、国防、科学研究等领域起着无法替代的作用。

扫描电镜是利用电子枪发射的电子束进行工作，在电子束由电子枪发射出来到样品表面的路径，我们称之为光路，光路的中间称之为光轴，电子束由电子枪发出经过镜筒最后达到样品室的样品上，安装在镜筒内的扫描线圈为入射电子束提供在样品表面上以及阴极射线管内电子束在荧光屏上的同步扫描信号，通过改变扫描线圈的电流大小，改变扫描线圈对电子束作用力的大小，这样，入射电子束在样品表面上的扫描振幅就会随着扫描线圈中电流的大小而变化，以获得所需放大倍率的扫描图像。扫描线圈在扫描电子显微镜中是一个重要的组件，一般放在镜筒的后半段。扫描线圈的工作稳定性对成像的质量至关重要。

传统的扫描线圈采用人工绕制的方式将线圈缠绕在骨架上，线圈的形状不规则，将该扫描线圈装配到扫描电镜中后，扫描线圈与光轴的同轴度较差，扫描线圈组件相对于中心轴线的旋转对称性较差。

发明内容

因此，本发明要解决的技术问题在于克服现有技术中的扫描线圈组件相对于中心轴线的旋转对称性较差的缺陷，从而提供一种相对于中心轴线旋转对称性较高的扫描线圈。

本发明要解决的另一个技术问题在于克服现有技术中的扫描电镜由于扫描线圈的工作稳定性较低而成像质量较低的缺陷，从而提供一种成像质量较高的扫描电镜。

本发明要解决的另一个技术问题在于提供一种对扫描线圈进行封装的灌封装置，封装后的扫描线圈可保证相对于中心轴线的旋转对称性。

为解决上述技术问题，本发明的一种扫描线圈，包括骨架，设置在所述骨架上的电路板，固定在所述骨架上的线圈，还包括将所述骨架、线圈、电路板封装一体的封装胶体层，且所述电路板的接线端伸出所述封装胶体层外，所述封装胶体层与所述骨架同轴设置。

本发明的一种扫描电镜，具有所述的扫描线圈。

本发明的一种扫描线圈的灌封装置，包括：

底座；

工装基体，设置在所述底座上，其上成型有通腔；

顶盖，设置在所述工装基体上，所述顶盖、所述工装基体、所述底座连接一体后形成有封装所述扫描线圈的灌封腔，所述电路板的接线端处于所述灌封腔外，且所述底座、所述顶盖至少其中一个上设有处于所述灌封腔内的，对所述扫描线圈进行同轴定位，使所述扫描线圈的骨架的轴线与所述灌封腔的轴线同轴的定位结构；

灌封口，成型在所述顶盖上，灌封胶通过所述灌封口进入所述灌封腔对处于所述灌封腔内的所述扫描线圈进行灌封。

所述工装基体与所述底座通过止口结构配合后可拆卸连接。

所述工装基体与所述底座通过螺纹紧固件可拆卸连接。