[发明专利]输送体、输送装置以及划线系统有效
申请号: | 201710800226.3 | 申请日: | 2017-09-06 |
公开(公告)号: | CN108147062B | 公开(公告)日: | 2021-11-30 |
发明(设计)人: | 西尾仁孝;高松生芳 | 申请(专利权)人: | 三星钻石工业股份有限公司 |
主分类号: | B65G45/18 | 分类号: | B65G45/18;B65G49/06;H01L21/304;B25H7/04 |
代理公司: | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人: | 玉昌峰;吴孟秋 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明涉及输送体、输送装置以及划线系统,其能够以简单的构成顺畅地对工作台的上表面进行清扫。输送体(300)保持基板(10)并从第一工作台(110)向第二工作台(410)输送该基板(10)。输送体(300)包括第一清扫单元(240),该第一清扫单元(240)配置于基板(10)的输送方向后方,在从第一工作台(110)向第二工作台(410)输送基板(10)的工序中,该第一清扫单元(240)与第一工作台(110)的上表面接触,对第一工作台(110)的上表面进行清扫。第一清扫单元(240)包括作为清扫工具的刷(241),刷(241)边与第一工作台(110)的上表面接触,边进行移动,从而对第一工作台(110)的上表面进行清扫。 | ||
搜索关键词: | 输送 装置 以及 划线 系统 | ||
【主权项】:
一种输送体,保持基板,并将所述基板从第一工作台向第二工作台输送,所述输送体其特征在于,包括第一清扫单元,所述第一清扫单元配置于所述基板的输送方向后方,在从所述第一工作台向所述第二工作台输送所述基板的工序中,所述第一清扫单元与所述第一工作台的上表面接触,对所述第一工作台的上表面进行清扫。
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