[发明专利]导线的制造方法和显示面板有效

专利信息
申请号: 201710632725.6 申请日: 2017-07-28
公开(公告)号: CN107221497B 公开(公告)日: 2020-07-21
发明(设计)人: 丁贤林;陈军;陈启程;张明 申请(专利权)人: 京东方科技集团股份有限公司;合肥鑫晟光电科技有限公司
主分类号: H01L21/3213 分类号: H01L21/3213
代理公司: 北京三高永信知识产权代理有限责任公司 11138 代理人: 滕一斌
地址: 100015 *** 国省代码: 北京;11
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摘要: 发明公开了一种导线的制造方法和显示面板,属于显示技术领域。所述方法包括:在衬底结构上形成过渡层,在形成有过渡层的衬底结构上形成金属层,在形成有金属层的衬底结构上形成第一光刻胶图案,以第一光刻胶图案为掩膜对金属层进行刻蚀,形成金属导线,以第一光刻胶图案为掩膜对过渡层进行刻蚀,形成过渡线,过渡线和金属导线构成导线。本发明通过以第一光刻胶图案作为金属层和过渡层的掩膜进行两次刻蚀,形成导线。解决了相关技术中以金属导线作为掩膜刻蚀过渡层时,刻蚀液可能损伤金属导线的问题,达到了保护金属导线的效果。
搜索关键词: 导线 制造 方法 显示 面板
【主权项】:
一种导线的制造方法,其特征在于,所述方法包括:在衬底结构上形成过渡层;在形成有所述过渡层的衬底结构上形成金属层;在形成有所述金属层的衬底结构上形成第一光刻胶图案;以所述第一光刻胶图案为掩膜对所述金属层进行刻蚀,形成金属导线;以所述第一光刻胶图案为掩膜对所述过渡层进行刻蚀,形成过渡线,所述过渡线和所述金属导线构成所述导线。
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