[发明专利]一种聚晶金刚石坯料真空净化方法

摘要

本发明提供一种聚晶金刚石坯料真空净化方法，将载有聚晶金刚石坯料的钼坩埚放入真空烧结炉内，温度升至200~250℃、炉内气压达到6×10^‑2Pa时，对聚晶金刚石坯料进行脱气、脱水处理；温度升至400~500℃、炉内气压达到3×10^‑3Pa时，用氢气对聚晶金刚石坯料进行一次真空还原处理；温度升至650~750℃、炉内气压达到3×10^‑3Pa时，用一氧化碳气体对聚晶金刚石坯料进行二次真空还原处理，净化处理后聚晶金刚石坯料内金刚石混合粉氧含量小于等于80ppm，实现了聚晶金刚石坯料内金刚石混合粉表面的高度洁净，满足高品级聚晶金刚石复合片合成要求。

主权项

1.一种聚晶金刚石坯料真空净化方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤1，将聚晶金刚石坯料放入真空加热炉内；步骤2，对真空加热炉预抽真空至炉内气压达6×10^‑2Pa 以下，升温至200~250℃并保温1~1.5小时，然后继续抽真空的同时，升温至400~500℃，直至炉内气压稳定在3×10^‑3Pa以下，停止抽真空；步骤3，在400~500℃保温1.5~2.5小时的同时，对真空加热炉进行间歇式充入氢气和抽真空处理，在所述间歇式充入氢气和抽真空处理结束后并于抽真空的同时，升温至650~750℃，直至炉内气压稳定在3×10^‑3Pa以下，停止抽真空；步骤4，在650~750℃保温1.5~2.5小时的同时，对真空加热炉进行间歇式充入一氧化碳和抽真空处理，至炉内气压稳定在3×10^‑3Pa以下；步骤5，充入氩气并恢复至常压后，冷却聚晶金刚石坯料，此时聚晶金刚石坯料内金刚石混合粉的氧含量小于等于80ppm。