[发明专利]一种硅片顶升梳齿机构

摘要

本发明公开了一种硅片顶升梳齿机构，包括梳齿组件；以及用于驱动所述梳齿组件升降的顶升组件，其中，所述梳齿组件包括支撑架以及由该支撑架所支撑的梳齿，梳齿设有两组且相互平行间隔地设置，该梳齿由若干片梳齿片从左至右依次紧挨排列而成，梳齿片包括位于底部的基部及与基部相固接的延展部，该延展部的厚度小于基部的厚度，延展部相对于基部的一侧偏置设置从而使得相邻两片延展部间形成有沿竖直方向延伸的让位槽，延展部的顶部开设有沿竖直方向延伸的顶升槽。根据本发明，其在提高硅片插片取片效率的同时，还能够通过提高对硅片支撑力度均匀性来减少在转移过程中的破损率，提高了生产效率，降低了生产成本。

主权项

一种硅片顶升梳齿机构(1)，其特征在于，包括：梳齿组件；以及用于驱动所述梳齿组件升降的顶升组件，其中，所述梳齿组件包括支撑架(13)以及由该支撑架(13)所支撑的梳齿(15)，梳齿(15)设有两组且相互平行间隔地设置，该梳齿(15)由若干片梳齿片(151)从左至右依次紧挨排列而成，梳齿片(151)包括位于底部的基部(1511)及与基部(1511)相固接的延展部(1512)，该延展部(1512)的厚度小于基部(1511)的厚度，延展部(1512)相对于基部(1511)的一侧偏置设置从而使得相邻两片延展部(1512)间形成有沿竖直方向延伸的让位槽(152)，延展部(1512)的顶部开设有沿竖直方向延伸的顶升槽(1512a)。