[发明专利]一种真空炉内复合冷却提速成晶设备有效
| 申请号： | 201710592309.8 | 申请日： | 2017-07-19 |
| 公开（公告）号： | CN107227487B | 公开（公告）日： | 2023-08-18 |
| 发明（设计）人： | 张新波 | 申请（专利权）人： | 天津环际达科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B11/02 | 分类号： | C30B11/02;C30B29/06 |
| 代理公司： | 天津滨海科纬知识产权代理有限公司 12211 | 代理人： | 张峻 |
| 地址： | 300160 天津市东丽区金钟*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种真空炉内复合冷却提速成晶设备，包括支撑架、水冷套和氩气管，水冷套呈锥形筒状，水冷套内设有循环水路，氩气管内置于设有进水管的支撑架内，并贯穿于水冷套内，氩气管在水冷套内缠绕若干圈，水冷套内壁上在紧贴氩气管的位置开有若干排气孔。本发明能提高晶体品质；能促进成晶速度；设计的冷气孔呈一定角度，极好的避免了气流互相干扰的情况，并且同原有的进气口形成高低呼应对晶棒从上到下的一个整体腔体保护。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 真空炉 复合 冷却 提速 设备 | ||
【主权项】：
一种真空炉内复合冷却提速成晶设备，其特征在于：包括支撑架、水冷套(4)和氩气管(2)，所述支撑架设有两个，分别固定于水冷套(4)上端相对的两端边缘，水冷套(4)呈锥形筒状，水冷套(4)内设有循环水路(8)，水冷套(4)的上端面设有循环水路(8)的进水口(7)和出水口(9)，分别连通进水管(3)和出水管(1)，进水管(3)和出水管(1)分别内置于两个支撑架内，氩气管(2)内置于设有进水管(3)的支撑架内，并贯穿于水冷套(4)内，氩气管(2)在水冷套(4)内缠绕若干圈，并焊接于水冷套(4)内壁，水冷套(4)内壁上在紧贴氩气管(2)的位置开有若干排气孔(6)，排气孔(6)连通于氩气管(2)，排气孔(6)朝向水冷套(4)中心轴线的方向。
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