[发明专利]树枝状多苯基取代金刚烷衍生物单分子树脂、正性光刻胶组合物和负性光刻胶组合物有效
申请号: | 201710578509.8 | 申请日: | 2017-07-17 |
公开(公告)号: | CN107266319B | 公开(公告)日: | 2020-04-24 |
发明(设计)人: | 陈金平;李嫕;于天君;曾毅 | 申请(专利权)人: | 中国科学院理化技术研究所 |
主分类号: | C07C69/96 | 分类号: | C07C69/96;C07C68/06;C07D309/12;G03F7/039;G03F7/038 |
代理公司: | 北京正理专利代理有限公司 11257 | 代理人: | 赵晓丹 |
地址: | 100190 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: |
本发明公开了一种树枝状多苯基取代金刚烷衍生物单分子树脂,具有如下分子结构: |
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搜索关键词: | 树枝 苯基 取代 金刚 衍生物 分子 树脂 光刻 组合 | ||
【主权项】:
一种树枝状多苯基取代金刚烷衍生物单分子树脂,其特征在于,包括如下分子结构:其中,式(I)中取代基Ra1~Ra28、式(II)中取代基Rb1~Rb21、式(III)中取代基Rc1~Rc14各自独立地表示氢原子、羟基、甲氧基或酸敏感性取代基,式(I)中取代基Ra1~Ra28相同或不同,式(II)中取代基Rb1~Rb21相同或不同,式(III)中取代基Rc1~Rc14相同或不同,同一苯环上的多个取代基不能同时为氢原子。
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