[发明专利]树枝状多苯基取代金刚烷衍生物单分子树脂、正性光刻胶组合物和负性光刻胶组合物有效

专利信息
申请号: 201710578509.8 申请日: 2017-07-17
公开(公告)号: CN107266319B 公开(公告)日: 2020-04-24
发明(设计)人: 陈金平;李嫕;于天君;曾毅 申请(专利权)人: 中国科学院理化技术研究所
主分类号: C07C69/96 分类号: C07C69/96;C07C68/06;C07D309/12;G03F7/039;G03F7/038
代理公司: 北京正理专利代理有限公司 11257 代理人: 赵晓丹
地址: 100190 *** 国省代码: 北京;11
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摘要: 发明公开了一种树枝状多苯基取代金刚烷衍生物单分子树脂,具有如下分子结构:其中,式(I)中取代基Ra1~Ra28、式(II)中取代基Rb1~Rb21、式(III)中取代基Rc1~Rc14各自独立地表示氢原子、羟基、甲氧基或酸敏感性取代基,式(I)中取代基Ra1~Ra28相同或不同,式(II)中取代基Rb1~Rb21相同或不同,式(III)中取代基Rc1~Rc14相同或不同,同一苯环上的多个取代基不能同时为氢原子。本发明中的树枝状多苯基取代金刚烷衍生物单分子树脂在各种极性溶剂中都具有很好的溶解性,适于制成薄膜,同时具有很高的玻璃化转变温度,能够很好的满足光刻工艺的要求。
搜索关键词: 树枝 苯基 取代 金刚 衍生物 分子 树脂 光刻 组合
【主权项】:
一种树枝状多苯基取代金刚烷衍生物单分子树脂,其特征在于,包括如下分子结构:其中,式(I)中取代基Ra1~Ra28、式(II)中取代基Rb1~Rb21、式(III)中取代基Rc1~Rc14各自独立地表示氢原子、羟基、甲氧基或酸敏感性取代基,式(I)中取代基Ra1~Ra28相同或不同,式(II)中取代基Rb1~Rb21相同或不同,式(III)中取代基Rc1~Rc14相同或不同,同一苯环上的多个取代基不能同时为氢原子。
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