[发明专利]与等离子清洁机一起使用的磁体有效
| 申请号： | 201710556214.0 | 申请日： | 2017-07-10 |
| 公开（公告）号： | CN107768223B | 公开（公告）日： | 2021-11-09 |
| 发明（设计）人： | V.斯维达;L.诺瓦克;V.斯特帕内克;P.保罗乌舍克 | 申请（专利权）人： | FEI公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 成城;邓雪萌 |
| 地址： | 美国俄*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及与等离子清洁机一起使用的磁体。等离子体发生器位于真空室外侧并生成中性活性粒子和带电粒子。定位在等离子体发生器外侧的磁体使带电粒子偏转，从而防止其中的一些或全部进入真空室，由此防止在真空室中形成二次等离子体源，同时允许中性活性粒子进入真空室以减少污染物。 | ||
| 搜索关键词： | 等离子 清洁 一起 使用 磁体 | ||
【主权项】：
一种用于从真空室清除污染物的清洁系统，包括：用于生成等离子体的等离子体发生器，所述等离子体发生器具有出口，带电粒子和活性中性粒子通过所述出口离开所述等离子体发生器；其特征在于，磁体定位在所述等离子体发生器外侧以减少进入所述真空室的带电粒子的数量。
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