[发明专利]圆筒光罩有效
| 申请号： | 201710546158.2 | 申请日： | 2014-03-26 |
| 公开（公告）号： | CN107255910B | 公开（公告）日： | 2019-04-02 |
| 发明（设计）人： | 加藤正纪 | 申请（专利权）人： | 株式会社尼康 |
| 主分类号： | G03F7/24 | 分类号： | G03F7/24 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 陈伟;王娟娟 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 提供一种能够以高生产性来生产高质量基板的基板处理装置、器件制造方法以及光罩。具备：光罩支承部件，其在照明区域内以沿着按规定曲率弯曲成圆筒面状的第一面的方式支承光罩的图案；基板支承部件，其在投影区域内以沿着规定的第二面的方式支承所述基板；以及驱动机构，其以使光罩的图案向规定的扫描曝光方向移动的方式使光罩支承部件旋转，且以使基板向扫描曝光方向移动的方式使基板支承部件移动，光罩支承部件在将第一面的直径设为φ、将第一面在与扫描曝光方向正交的方向上的长度设为L的情况下，满足1.3≤L/φ≤3.8。 | ||
| 搜索关键词： | 圆筒 | ||
【主权项】：
1.一种圆筒光罩，其沿着圆筒状的外周面保持电子器件用的光罩图案，安装在规定的曝光装置上，且能够绕着中心线旋转，其特征在于，具有所述外周面在所述中心线的方向上的长度为La、所述外周面的直径为φ的圆筒基材，当将保持在所述圆筒基材的外周面上的所述光罩图案在所述中心线的方向上的最大长度设为L时，在L≤La的范围内，所述直径φ与所述长度L的比率L/φ设定为1.3≤L/φ≤3.8的范围。
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