[发明专利]包括多种类型的薄膜晶体管的有机发光显示装置及其制造方法

摘要

本公开涉及包括多种类型的薄膜晶体管的有机发光显示装置及其制造方法。一种有机发光显示装置包括基板上的驱动TFT、基板上的开关TFT以及有机发光二极管。驱动TFT包括由多晶硅形成的第一有源层和层间绝缘层的在第一有源层上的至少第一部分。层间绝缘层由包含氢的第一材料形成。开关TFT包括第二有源层、层间绝缘层的在第一有源层与第二有源层之间的至少第二部分以及栅极绝缘层的在层间绝缘层的第二部分与第二有源层之间的至少一部分。栅极绝缘层由第二材料形成，第二材料与第一材料不同并且阻挡氢从层间绝缘层扩散到第二有源层。

主权项

一种有机发光显示装置，包括：基板；在所述基板上的像素，所述像素包括：在所述基板上的驱动薄膜晶体管，所述驱动薄膜晶体管包括：由多晶硅形成的第一有源层，以及层间绝缘层的在所述第一有源层上的至少第一部分，所述层间绝缘层由包含氢的第一材料形成；在所述基板上的开关薄膜晶体管，所述开关薄膜晶体管包括：第二有源层，所述层间绝缘层的在所述第一有源层与所述第二有源层之间的至少第二部分，以及栅极绝缘层的在所述层间绝缘层的所述第二部分与所述第二有源层之间的至少一部分，所述栅极绝缘层由第二材料形成，所述第二材料与所述第一材料不同并且阻挡氢从所述层间绝缘层扩散到所述第二有源层；以及电连接至所述驱动薄膜晶体管的有机发光二极管。