[发明专利]包括多种类型的薄膜晶体管的有机发光显示装置及其制造方法

说明书

本公开涉及包括多种类型的薄膜晶体管的有机发光显示装置及其制造方法。一种有机发光显示装置包括基板上的驱动TFT、基板上的开关TFT以及有机发光二极管。驱动TFT包括由多晶硅形成的第一有源层和层间绝缘层的在第一有源层上的至少第一部分。层间绝缘层由包含氢的第一材料形成。开关TFT包括第二有源层、层间绝缘层的在第一有源层与第二有源层之间的至少第二部分以及栅极绝缘层的在层间绝缘层的第二部分与第二有源层之间的至少一部分。栅极绝缘层由第二材料形成，第二材料与第一材料不同并且阻挡氢从层间绝缘层扩散到第二有源层。

相关申请的交叉引用

本申请要求在韩国知识产权局于2016年7月6日提交的韩国专利申请第10-2016-0085783号、2016年10月31日提交的韩国专利申请第10-2016-0143777号和2016年10月31日提交的韩国专利申请第10-2016-0143773号的优先权，其各自的公开内容通过引用并入本文。

技术领域

本公开涉及包括多种类型的薄膜晶体管的有机发光显示装置和制造该有机发光显示装置的方法，更具体地，涉及一种其中不同类型的薄膜晶体管设置在单个基板上的有机发光显示装置，和制造该有机发光显示装置的方法。

背景技术

近来，随着世界发展到全面信息时代，用于视觉显示电信息信号的显示领域已经迅速增长。作为响应，已经开发了在减薄、减轻重量和低功耗方面具有优异性能的各种平面显示装置，并且这些平面显示装置迅速取代了本领域已经使用的阴极射线管(CRT)显示器。

平面显示装置的具体实例包括液晶显示器(LCD)装置、有机发光显示器(OLED)装置、电泳显示器(EPD)装置、等离子体显示面板(PDP)装置和电润湿显示器(EWD)装置等。特别地，与LCD装置相比，作为具有自发光特性的下一代显示装置的OLED装置在视角、对比度、响应速度、功耗等方面具有优异的特性。

OLED装置包括显示区域，在显示区域中设置有用于显示图像的有机发光元件和用于驱动有机发光元件的像素电路。此外，OLED装置包括与显示区域相邻并且设置有驱动电路的非显示区域。特别地，多个薄膜晶体管位于像素电路和驱动电路中，以驱动多个像素中的有机发光元件。

薄膜晶体管可以通过有源层的材料分类。特别地，通常使用低温多晶硅(LTPS)薄膜晶体管和氧化物半导体薄膜晶体管。然而，目前，在OLED装置中，在单个基板上使用LTPS薄膜晶体管或氧化物半导体薄膜晶体管作为构成像素电路和驱动电路的薄膜晶体管。然而，如果LTPS薄膜晶体管或氧化物半导体薄膜晶体管中的任意一者构成像素电路和驱动电路，则存在各种问题。因此，需要将不同类型的薄膜晶体管应用于单个OLED装置。

发明内容

本公开的发明人认识到上述需求，并且研究了将不同类型的薄膜晶体管应用于单个基板的技术。然后，本发明人发明了一种应用LTPS薄膜晶体管和氧化物半导体薄膜晶体管的有机发光显示装置。然而，本公开的发明人认识到通过将LTPS薄膜晶体管和氧化物半导体薄膜晶体管应用于单个基板而引起的各种问题。

首先，包含在LTPS薄膜晶体管的层间绝缘层中并且用于LTPS薄膜晶体管的有源层的加氢处理的氢可以扩散到氧化物半导体薄膜晶体管的有源层中。因此，可以改变氧化物半导体薄膜晶体管的阈值电压(Vth)。

此外，需要在有机发光元件上形成在OLED装置中使用的封装单元的无机膜，因此通过低温工艺来形成该无机膜。然而，通过低温工艺形成的无机膜含有相对大量的氢。这样的氢扩散到氧化物半导体薄膜晶体管的有源层中，并且因此存在氧化物半导体薄膜晶体管的阈值电压(Vth)可能改变的问题。

此外，根据有机发光显示装置的制造过程中LTPS薄膜晶体管的有源层的活化处理和加氢处理的时机，大量的氢可以扩散到氧化物半导体薄膜晶体管的有源层中。

因此，本公开要实现的目的是提供一种用于解决上述问题的有机发光显示装置的新结构和一种制造有机发光显示装置的新方法。