[发明专利]一种弹光型光子晶体波导加速度计

摘要

本发明公开了一种弹光型光子晶体波导加速度计，该加速度计包括输入波导、输出波导、马赫曾德干涉结构以及微悬梁结构；采用微悬梁结构感受外界加速度变化；利用慢光增强光子晶体波导技术增强应力和电场作用下材料折射率的改变，提高探测精度；通过选用电光晶体材料和压电材料实现调制解调光路与传感光路的单片集成。本发明的加速度计集成度高、探测精度高，具有较低的调制半波电压和较高的极限灵敏度。

主权项

一种弹光型光子晶体波导加速度计，其特征在于，包括输入波导（4）、输出波导（5）、马赫曾德干涉结构和微悬梁结构；马赫曾德干涉结构包括输入端Y分支波导（6）、输出端Y分支波导（7）、参考臂光子晶体波导（8）、信号臂光子晶体波导（9），和金属调制电极（10），输入波导（4）连接输入端Y分支波导（6），输入端Y分支波导（6）的两分支端分别连接参考臂光子晶体波导（8）和信号臂光子晶体波导（9），参考臂光子晶体波导（8）和信号臂光子晶体波导（9）连接输出端Y分支波导（7）的两分支端，输出端Y分支波导（7）连接输出波导（5）；所述的输入端Y分支波导（6）的参考臂与信号臂等长，输出端Y分支波导（7）的参考臂与信号臂等长，所述的参考臂光子晶体波导（8）和信号臂光子晶体波导（9）等长；马赫曾德干涉结构位于铌酸锂晶体层（3），铌酸锂晶体层（3）向下依次为二氧化硅隔层（2）、硅基底（1）；参考臂光子晶体波导（8）和信号臂光子晶体波导（9）相互平行，波导两端的两侧均设置有金属调制电极（10）；信号臂光子晶体波导（9）中部的两侧刻蚀有凹形通孔（13），形成微悬梁结构。