[发明专利]改变探针卡探针阻抗值的方法在审
| 申请号： | 201710493532.7 | 申请日： | 2017-06-26 |
| 公开（公告）号： | CN107356853A | 公开（公告）日： | 2017-11-17 |
| 发明（设计）人： | 王玉龙;刘远华;许文文;罗斌;牛勇 | 申请（专利权）人： | 上海华岭集成电路技术股份有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/26 | 分类号： | G01R31/26;G01R1/067 |
| 代理公司： | 上海申汇专利代理有限公司31001 | 代理人： | 吴宝根,徐颖 |
| 地址： | 201203 上海市浦东新区中国(*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种改变探针卡探针阻抗值的方法，晶圆测试探针卡为一PCB板，中间挖空的正方形为测试区，放置晶圆，探针从探针卡上伸出到测试区，探针卡外圈均匀分布数个焊点，外圈焊点用于连接到测试机的相应资源，探针卡内圈有与外圈对应的焊点，内圈的焊点与探针尾部的连接，内圈的焊点与外圈的焊点对应一一连接起来，形成一条条测试通路，在内圈的焊点和对应的探针之间加入拨码开关组，补偿探针的阻值偏差。保证了晶圆测试精度，也可以保护电源管脚不会因为测量通路阻抗值变化，而导致的大电流熔针，保护了探针，延长了探针卡的寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 改变 探针 阻抗 方法 | ||
【主权项】：
一种改变探针卡探针阻抗值的方法，晶圆测试探针卡为一PCB板，中间挖空的正方形为测试区，放置晶圆，探针从探针卡上伸出到测试区，探针卡外圈均匀分布数个焊点，外圈焊点用于连接到测试机的相应资源，探针卡内圈有与外圈对应的焊点，内圈的焊点与探针尾部的连接，内圈的焊点与外圈的焊点对应一一连接起来，形成一条条测试通路，其特征在于，在内圈的焊点和对应的探针之间加入拨码开关组，补偿探针的阻值偏差。
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