[发明专利]基板的夹持装置、成膜装置、基板载置装置及其方法在审
| 申请号： | 201710483111.6 | 申请日： | 2017-06-23 |
| 公开（公告）号： | CN107541711A | 公开（公告）日： | 2018-01-05 |
| 发明（设计）人： | 石井博;佐藤智之;铃木健太郎 | 申请（专利权）人： | 佳能特机株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50;C23C14/04;C23C14/24;C23C14/54;H01L51/56 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所11038 | 代理人： | 程晨 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 提供一种基板的夹持装置、成膜装置、基板载置装置及其方法，不仅能够使基板和掩模良好地紧贴，而且能够使基板稳定地移动，并且能够防止载置到掩模上时的基板的位置偏移。具有将基板(1)在用按压工具(8)推压到基板保持体(3)的状态下载置到掩模(2)上的基板载置工序，关于该基板载置工序中的通过按压工具(8)将基板(1)推压到基板保持体(3)，至少在基板(1)和掩模(2)的接触开始时，以按压工具(8)抵接到基板(1)的按压力进行推压，在所述基板载置工序之后，通过按压工具(8)，以比所述接触开始时强的按压力将基板(1)推压到基板保持体(3)。 | ||
| 搜索关键词： | 夹持 装置 基板载置 及其 方法 | ||
【主权项】：
一种基板的夹持方法，该夹持方法是为了在基板上通过使从蒸发源射出的成膜材料隔着掩模堆积来进行成膜而在使基板载置到所述掩模时夹持基板的方法，所述夹持方法的特征在于，具有将所述基板以用按压工具推压到基板保持体的状态载置到掩模上的基板载置工序，关于该基板载置工序中的通过所述按压工具将所述基板推压到所述基板保持体的操作，至少在所述基板和所述掩模的接触开始时，以所述按压工具抵接到所述基板的按压力进行推压，在所述基板载置工序之后，通过所述按压工具，以比所述接触开始时强的按压力将所述基板推压到所述基板保持体。
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