[发明专利]单晶硅太阳能电池的表面绒面制备方法

摘要

本发明公开了一种单晶硅太阳能电池的表面绒面制备方法，所述制备方法依次包括以下步骤S1、通过气相化学腐蚀方法在单晶硅片表面引入微纳缺陷；S2、采用碱刻蚀制绒工艺在单晶硅片表面形成金字塔结构；S3、采用酸溶液对上述硅片进行清洗，去除单晶硅片表面杂质残留。本发明在碱刻蚀制绒步骤前先通过气相化学腐蚀方法形成微纳尺寸的缺陷起绒点，再进行常规碱制绒能够快速获得理想的金字塔绒面并去除表面切割线痕，且制备的金字塔绒面具有优异的陷光性能；实际工艺中大大降低了碱刻蚀制绒时间，提高了单晶硅太阳能电池的生产效率；气相化学腐蚀方法中不需要引入金属离子，避免因清洗不彻底而导致金属杂质污染单晶硅片的风险，大大提高了绒面质量。

主权项

一种单晶硅太阳能电池的表面绒面制备方法，其特征在于，所述制备方法依次包括以下步骤：S1、通过气相化学腐蚀方法在单晶硅片表面引入微纳缺陷；S2、采用碱刻蚀制绒工艺在单晶硅片表面形成金字塔结构；S3、采用酸溶液对上述硅片进行清洗，去除单晶硅片表面杂质残留。