[发明专利]发光元件的制造装置和制造方法

摘要

本发明提供对于设置场所的形状、宽敞度的自由度高且对于步骤变更、扩展等的应对性优异的有机EL装置的制造装置。该制造装置包括：具有经第1交接室连接的第1移载机和第2移载机的主输送路径；副输送路径，其具有与上述第1移载机或第2移载机连接的第2交接室和与上述第2交接室连接的输送室，且在与上述主输送路径交叉的方向上延伸；和与上述输送室连接的多个处理室，上述第1移载机、第2移载机、上述第1交接室和上述第2交接室连接而形成的区域为连续的真空环境。

主权项

1.一种发光元件的制造装置，其特征在于，包括：/n主输送路径，其具有经第1交接室连接的第1移载机和第2移载机，且在第一方向上延伸；/n副输送路径，其具有与所述第1移载机或所述第2移载机连接的第2交接室和与所述第2交接室连接的输送室，且在与所述第一方向交叉的第二方向上延伸；和/n与所述输送室连接的多个处理室，/n所述第1移载机、所述第2移载机、所述第1交接室和所述第2交接室连接而形成的区域成为连续的真空环境，/n所述第1交接室包括第1移载机构和第2移载机构，/n所述第1移载机或所述第2移载机具有用于连接所述第1交接室的第1端口、用于连接所述第2交接室的第2端口和用于连接存储被处理基板的缓冲部的第3端口，/n所述缓冲部成为与经所述第3端口连接的所述第1移载机或所述第2移载机相连的真空环境，/n在所述主输送路径上还具有设置有第1端口的第3移载机和与所述第3移载机的所述第1端口连接的基板投入取出口，/n第1移载机或第2移载机具有第4端口，/n所述基板投入取出口与所述第4端口连接，/n所述主输送路径具有通过所述第1移载机、所述第1交接室、所述第2移载机、所述第3移载机和所述基板投入取出口的环状路径，/n所述制造装置构成为，处理前的所述被处理基板的投入和处理完的所述被处理基板的取出均经所述基板投入取出口进行。/n