[发明专利]一种合金钢表面直流磁控溅射技术制备W‑N硬质膜的方法在审
| 申请号： | 201710379033.5 | 申请日： | 2017-05-25 |
| 公开（公告）号： | CN107058963A | 公开（公告）日： | 2017-08-18 |
| 发明（设计）人： | 匡同春;黎毓灵;邓阳;雷淑梅;王毅;陈灵;周克崧;曾德长 | 申请（专利权）人： | 华南理工大学 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/02;C23C14/06 |
| 代理公司： | 广州粤高专利商标代理有限公司44102 | 代理人： | 何淑珍 |
| 地址： | 510640 广*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种合金钢表面直流磁控溅射技术制备W‑N硬质膜的方法。该方法先将基体研磨、抛光、超声清洗，利用电弧增强辉光放电技术对其表面进行离子清洗与刻蚀，而后采用直流磁控溅射技术（DCMS），在一定基体负偏压、沉积温度、靶功率密度（3~20.75W/cm2）条件下，在合金钢表面沉积数微米厚的W‑N硬质膜。本发明利用电弧增强辉光放电技术清洁基体表面，细化基体表面晶粒，大幅度提高膜基结合力；其次在合金钢上采用直流磁控溅射技术制备摩擦性能优异、硬度高、表面平整、化学稳定性良好的W‑N硬质膜，有效提高合金钢工件的综合性能和使用寿命；该涂层制备可控，工艺简单，易于实施。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 合金钢 表面 直流 磁控溅射 技术 制备 质膜 方法 | ||
【主权项】：
一种合金钢表面直流磁控溅射技术制备W‑N硬质膜的方法，其特征在于，包括如下步骤：1）基体表面预处理：将合金钢基体研磨抛光、超声清洗、吹干后装夹在可三维旋转的行星架上，再送入腔室中；2）基体表面离子清洗与刻蚀：采用电弧增强辉光放电技术对基体表面进行离子清洗与刻蚀；3）直流磁控溅射镀膜处理：向所述腔室内连续通入高纯氮气和高纯氩气，保持炉内气压和温度恒定，基体加负偏压，进行直流磁控溅射镀膜处理；4）冷却处理：步骤3）完成后开启炉体循环冷却水系统冷却，基体在真空状态下冷却后取出。
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