[发明专利]激光脉冲诱导熔石英表面形成均匀光栅结构的方法有效
| 申请号： | 201710363281.0 | 申请日： | 2017-05-18 |
| 公开（公告）号： | CN107052584B | 公开（公告）日： | 2018-09-21 |
| 发明（设计）人： | 张传超;廖威;蒋晓龙;白阳;张丽娟;王海军;陈静;蒋一岚;栾晓雨;袁晓东;郑万国 | 申请（专利权）人： | 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 |
| 主分类号： | B23K26/354 | 分类号： | B23K26/354;B23K26/082;B23K26/062;B23K26/40;C03C23/00 |
| 代理公司： | 重庆为信知识产权代理事务所(普通合伙) 50216 | 代理人： | 龙玉洪 |
| 地址： | 621900 四川省*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种激光脉冲诱导熔石英表面形成均匀光栅结构的方法，利用二氧化碳激光峰值脉冲辐照熔石英样品改变其表面自组织结构，然后重复扫描，使其表面自组织形成均匀的光栅结构。采用以上方案，简化了制作均匀光栅结构的方法，方法新颖，避免了传统制作飞秒激光的繁琐步骤，降低了制作成本，且形成均匀光栅结构步骤简洁、方便高效，且通过相邻重叠辐照区域可轻松获得大面积的均匀光栅结构，通过本方法制作的均匀光栅结构可适用于分光、结构色等领域应用，具有极大科研意义。 | ||
| 搜索关键词： | 激光 脉冲 诱导 石英 表面 形成 均匀 光栅 结构 方法 | ||
【主权项】：
1.一种激光脉冲诱导熔石英表面形成均匀光栅结构的方法，其特征在于，包括以下步骤：S1：设置二氧化碳激光器的频率和占空比参数；S2：使用声光调制器截取微秒宽度的二氧化碳激光峰值脉冲；S3：对截取的微秒二氧化碳激光峰值脉冲进行扩束，然后对其聚焦处理；S4：将熔石英样片放置在聚焦后二氧化碳激光峰值脉冲的焦点位置；S5：设置振镜系统的扫描区域、扫描方式、扫描速度和扫描间距；S6：利用振镜系统驱动聚焦后的微秒二氧化碳激光峰值脉冲辐照熔石英样片的表面，改变熔石英样片表面受辐照区域的自组织结构；S7：微秒二氧化碳激光峰值脉冲重复扫描熔石英样片的辐照区，使熔石英样片表面自组织形成均匀的光栅结构。
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