[发明专利]一种镀膜机用基片加热装置有效
| 申请号： | 201710338663.8 | 申请日： | 2017-05-15 |
| 公开（公告）号： | CN106987808B | 公开（公告）日： | 2019-04-09 |
| 发明（设计）人： | 向勇;杨小军;张韬 | 申请（专利权）人： | 成都西沃克真空科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/26 | 分类号： | C23C14/26 |
| 代理公司： | 成都新驱科为知识产权代理事务所(普通合伙) 51251 | 代理人： | 成实 |
| 地址： | 610091 四川省成都*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种镀膜机用基片加热装置，主要由电极座(1)，与电极座(1)的电极接头(18)电连接的加热管(3)，以及设置在电极座(1)上的支撑杆组成。本发明设的连接组件能带动设置有加热管的电极座转动，使加热管能根据基片的形状来改变对基片的加热角度；本发明设置的支撑杆为伸缩式支撑杆，该伸缩式支撑杆能根据基片的形状对加热管加热的距离进行调节，从而确保了本发明对基片加热的效果，有效的提高了基片镀膜的质量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 镀膜 机用基片 加热 装置 | ||
【主权项】：
1.一种镀膜机用基片加热装置，主要由电极座(1)，与电极座(1)的电极接头(18)电连接的加热管(3)，以及设置在电极座(1)上的支撑杆组成；其特征在于，在电极座(1)与支撑杆之间还设置有能带动电极座(1)转动的连接组件；所述连接组件包括与支撑杆相连接的安装座(11)，和通过转轴(10)连接在安装座(11)上并能延转轴(10)转动的支撑架(9)；所述电极座(1)与支撑架(9)相连接；所述电极座(1)上还设有防污板(2)，所述防污板(2)上分别设置有卡槽(16)和开口(17)。
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