[发明专利]一种钨掺杂二氧化钒热致变色薄膜及其制备方法在审

专利信息
申请号: 201710301456.5 申请日: 2017-05-02
公开(公告)号: CN107188426A 公开(公告)日: 2017-09-22
发明(设计)人: 袁坚;杨霄;郭志敏;揭俊楠;闵圆圆;程金树 申请(专利权)人: 武汉理工大学
主分类号: C03C17/245 分类号: C03C17/245;C23C14/35;C23C14/08;C23C14/18;C23C14/58
代理公司: 湖北武汉永嘉专利代理有限公司42102 代理人: 邬丽明,官群
地址: 430070 湖*** 国省代码: 湖北;42
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摘要: 发明涉及一种钨掺杂二氧化钒热致变色薄膜及其制备方法,所述薄膜由以下方法制备得到采用磁控溅射的方法预先在基片表面沉积一层五氧化二钒,然后在其上沉积金属钨层,最后在钨层上沉积一层五氧化二钒,形成五氧化二钒/金属钨/五氧化二钒混合薄膜,再采用惰性气氛将金属钨氧化为高价钨,将五氧化二钒还原为二氧化钒,得到钨掺杂二氧化钒热致变色薄膜。本发明所得薄膜不仅相变温度接近室温,而且有足够的可见光透过率和红外开关效率,能够满足建筑智能窗等实际应用的需要。
搜索关键词: 一种 掺杂 氧化 钒热致 变色 薄膜 及其 制备 方法
【主权项】:
一种钨掺杂二氧化钒热致变色薄膜,其特征在于,它由以下方法制备得到:采用磁控溅射的方法预先在基片表面沉积一层五氧化二钒,然后在其上沉积金属钨层,最后在钨层上沉积一层五氧化二钒,形成五氧化二钒/金属钨/五氧化二钒混合薄膜,再采用惰性气氛将金属钨氧化为高价钨,将五氧化二钒还原为二氧化钒,得到钨掺杂二氧化钒热致变色薄膜。
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