[发明专利]动态随机存取存储器及其制造方法

摘要

本发明提供一种动态随机存取存储器及其制造方法，所述动态随机存取存储器包括字线阵列、位线阵列、接触栓阵列、接触焊盘阵列及电容器阵列，每个接触焊盘均连接于一个接触栓上方，并相对于所述接触栓在Y方向上偏移距离D/4；其中，相邻两列接触焊盘的偏移方向相反，使所述接触焊盘阵列呈六方排布；每个电容器均连接于一个所述接触焊盘的上方。本发明的动态随机存取存储器中，平面布局结构由接触栓的四方排布变换为电容器的六方排布，可以提高存储单元中电容器的面积，获得更大的电容值。本发明在实现了电容器的六方布局及存储单元面积为6F2的同时，保证有源区、字线、位线均为直线型，布局更为简单，有利于降低工艺复杂性，提高存储器的稳定性。

主权项

一种动态随机存取存储器，其特征在于，包括：字线阵列，包括多条直线型字线，这些字线均与Y方向平行，并且沿X方向等间距排列，其中，X方向与Y方向相互垂直；位线阵列，包括多条直线型位线，这些位线均与X方向平行，并且沿Y方向等间距排列；接触栓阵列，包括多个接触栓，其中，所述字线阵列的图形与所述位线阵列定义出在一衬底上的多个独立的矩形区域，每个接触栓分别形成于一个所述矩形区域中，使所述接触栓阵列呈四方排布；接触焊盘阵列，包括多个接触焊盘，每个接触焊盘均连接于一个所述接触栓上方，并相对于所述接触栓在Y方向上偏移预设距离；其中，相邻两列接触焊盘的偏移方向相反，即其中一列接触焊盘沿正Y方向偏移，另外一相邻列接触焊盘沿负Y方向偏移，使所述接触焊盘阵列呈六方排布；以及电容器阵列，包括多个电容器，每个电容器均连接于一个所述接触焊盘的上方，所述电容器阵列呈六方排布。