[发明专利]一种用光刻机制作菲林的方法在审
| 申请号： | 201710270881.2 | 申请日： | 2017-04-24 |
| 公开（公告）号： | CN106950802A | 公开（公告）日： | 2017-07-14 |
| 发明（设计）人： | 楼方禄 | 申请（专利权）人： | 南京市罗奇泰克电子有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙)32204 | 代理人： | 梁耀文 |
| 地址： | 211212 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开一种用光刻机制作菲林的方法，具体步骤在于1、将吸气平台安装到光刻机台面上；2、将裁剪好的菲林平铺到吸气平台上，完全吸合；3、GERBER文件输入，调整坐标，设置光刻机参数，开始绘制；4、菲林经冲片机显影定影，制作出有图像的菲林。本发明在制作菲林可在明室操作；精度大大提高，相同图像绘制速度提升5倍；菲林大小可在1000*1600范围任意大小都可绘制，无需固定菲林大小。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用光 机制 作菲林 方法 | ||
【主权项】：
一种用光刻机制作菲林的方法，其特征在于，具体步骤在于：第一步：将吸气平台安装到光刻机台面上；第二步：对菲林进行裁剪，第三步：将裁剪好的菲林平铺到吸气平台上；第四步：对光刻机内部参数进行调整，设置光刻机参数，并开始绘制；第五步：菲林经冲片机显影定影，制作出有图像的菲林。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于南京市罗奇泰克电子有限公司，未经南京市罗奇泰克电子有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201710270881.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：水平驱动机构和床体
- 下一篇：一种电机定子绕线支架
