[发明专利]一种超声波清洗装置及基板处理系统有效
| 申请号： | 201710258646.3 | 申请日： | 2017-04-19 |
| 公开（公告）号： | CN107020285B | 公开（公告）日： | 2021-01-15 |
| 发明（设计）人： | 郭淳;刘建辉;孟盼盼;冯忠;李鹏;许道先;周庆高;钟亮;董康旭;刘祖宏;侯智 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;合肥京东方光电科技有限公司 |
| 主分类号： | B08B11/04 | 分类号： | B08B11/04;B08B5/02;B08B5/04;B08B13/00;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京中博世达专利商标代理有限公司 11274 | 代理人： | 申健 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种超声波清洗装置及基板处理系统，涉及显示技术领域，该超声波清洗装置对基板的吹扫清洁效率高，并且当该清洗装置具体应用于基板处理系统中时，可以显著提高进入处理装置内的基板的表面清洁度，避免基板表面经过处理后产生大量杂质残留。该超声波清洗装置包括，吹气单元，用于向待清洗的物体表面喷出气流；超声波振荡发生器，用于使从吹气单元中喷出的气流发生振荡；抽气单元，用于收集从待清洗的物体表面吹扫出的杂质。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 超声波 清洗 装置 处理 系统 | ||
【主权项】：
一种超声波清洗装置，其特征在于，包括，吹气单元，用于向待清洗的物体表面喷出气流；超声波振荡发生器，用于使从所述吹气单元中喷出的所述气流发生振荡；抽气单元，用于收集从所述待清洗的物体表面吹扫出的杂质。
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