[发明专利]晶圆识别方法及设备在审
| 申请号： | 201710253165.3 | 申请日： | 2017-04-18 |
| 公开（公告）号： | CN108304756A | 公开（公告）日： | 2018-07-20 |
| 发明（设计）人： | 方伟力 | 申请（专利权）人： | 南亚科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G06K9/00 | 分类号： | G06K9/00;G06K9/62 |
| 代理公司： | 隆天知识产权代理有限公司 72003 | 代理人： | 李昕巍;章侃铱 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本公开提供一种晶圆识别方法及设备。晶圆识别方法包括通过获取一第一晶圆的一影像来获得包括一第一向量的影像信息，其中该第一晶圆是已知为一良品；通过获取一第二晶圆的一影像来获得包括一第二向量的影像信息，其中该第二晶圆是已知为一不良品；基于与该第一向量及该第二向量相关的一共变异数矩阵，计算一投影向量；通过获取待测的一第三晶圆的一影像来获得包括一第三向量的影像信息；将该第一向量、该第二向量及该第三向量的各者投影到该投影向量上；及基于该经投影第一向量、该经投影第二向量及该经投影第三向量将该第三晶圆分类成该良品或该不良品。本公开提供的晶圆识别方法及设备可以提高不良晶圆的识别率。 | ||
| 搜索关键词： | 向量 晶圆 投影 影像信息 影像 投影向量 不良品 良品 矩阵 变异数 识别率 种晶 分类 | ||
【主权项】：
1.一种晶圆识别方法，其包含：通过获取一第一晶圆的一影像来获得包括一第一向量的影像信息，其中该第一晶圆是已知为一良品；通过获取一第二晶圆的一影像来获得包括一第二向量的影像信息，其中该第二晶圆是已知为一不良品；基于与该第一向量及该第二向量相关的一共变异数矩阵，计算一投影向量；通过获取待测的一第三晶圆的一影像来获得包括一第三向量的影像信息；将该第一向量、该第二向量及该第三向量的各者投影到该投影向量上；及基于该经投影第一向量、该经投影第二向量及该经投影第三向量将该第三晶圆分类成该良品或该不良品。
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