[发明专利]一种蒸镀方法在审
| 申请号： | 201710202453.6 | 申请日： | 2017-03-30 |
| 公开（公告）号： | CN106702319A | 公开（公告）日： | 2017-05-24 |
| 发明（设计）人： | 郑克宁;孔超;陈栋 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24 |
| 代理公司： | 北京同达信恒知识产权代理有限公司11291 | 代理人： | 郭润湘 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种蒸镀方法，用以解决现有的蒸镀工艺，使用蒸镀掩膜版进行蒸镀之后，很容易有材料残留到蒸镀掩膜版上，残留的材料很难清洗，而且容易将待蒸镀基板划伤的问题。该方法包括在蒸镀掩膜版上形成一层附加膜层；使用形成有附加膜层的蒸镀掩膜版，在待蒸镀基板上蒸镀形成蒸镀膜层；其中，附加膜层材料的活泼性强于蒸镀膜层材料的活泼性。本发明在待蒸镀基板上蒸镀形成蒸镀膜层之前，先在蒸镀掩膜版上形成一层附加膜层，因而在使用该蒸镀掩膜版蒸镀之后，如果有蒸镀膜层的材料残留，会直接残留在附加膜层的表面上，由于附加膜层材料的活泼性强于蒸镀膜层材料的活泼性，因而可以更容易的将残留的材料清洗干净，避免其划伤待蒸镀基板。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 方法 | ||
【主权项】：
一种蒸镀方法，其特征在于，该方法包括：在蒸镀掩膜版上形成一层附加膜层；使用形成有附加膜层的蒸镀掩膜版，在待蒸镀基板上蒸镀形成蒸镀膜层；其中，所述附加膜层材料的活泼性强于所述蒸镀膜层材料的活泼性。
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