[发明专利]光学玻璃微米级空间碎片防护膜有效
| 申请号： | 201710196600.3 | 申请日： | 2017-03-29 |
| 公开（公告）号： | CN106987804B | 公开（公告）日： | 2019-03-29 |
| 发明（设计）人： | 姜海富;曹燕;牟永强;周晶晶;杨继运 | 申请（专利权）人： | 北京卫星环境工程研究所 |
| 主分类号： | C23C14/18 | 分类号： | C23C14/18;C23C14/06;C23C28/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 100094 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种光学玻璃微米级空间碎片防护膜，包括依次设置在光学玻璃表面上的弹簧结构、底层薄膜和纳米多层连续薄膜，弹簧结构紧密结合在基底光学玻璃上，采用掠射角沉积技术获得，用于缓冲微小碎片的撞击能量；底层薄膜为整体的连续膜层，在氩气氛围下通过磁控溅射技术制备；纳米多层膜由DLC膜和Al膜多层交替制备而成，纳米多层膜旨在获得硬度和韧性具佳的薄膜，减小碎片撞击导致薄膜裂纹的发生。 | ||
| 搜索关键词： | 光学玻璃 微米 空间 碎片 防护 | ||
【主权项】：
1.光学玻璃微米级空间碎片防护膜，通过真空镀膜方法制备于待防护的光学玻璃表面上，包括依次设置在光学玻璃表面上的弹簧结构、底层薄膜和纳米多层连续薄膜，弹簧结构紧密结合在基底光学玻璃上，且成分为SiO2或Si3N4；弹簧结构采用掠射角沉积技术获得，用于缓冲微小碎片的撞击能量；底层薄膜为整体的连续膜层，其成分为Si或Ti， Si或Ti膜层在氩气氛围下通过磁控溅射技术制备；纳米多层膜，为整体连续膜层，其成分为DLC/Al，由DLC膜和Al膜多层交替制备而成，其中DLC为硬质膜，Al为增韧相，纳米多层膜旨在获得硬度和韧性俱佳的薄膜，减小碎片撞击导致薄膜裂纹的发生。
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