[发明专利]一种具有多对驱动感应电极的电容式MEMS谐振器

摘要

本发明属于电子科学技术领域，具体提供一种具有多对驱动感应电极的电容式MEMS谐振器，用以克服现有电容式谐振器输出电流小、带负载能力差的问题；本发明MEMS谐振器，包括1个振动块、4个振动块支撑梁、4个振动块锚点、4个输入输出电极、4个电极支撑梁及4个电极锚点，通过对振动块进行分区掺杂、及输入输出电极掺杂的方法，构造四对驱动感应电极，使谐振器工作时的静电力大幅增加，从而使谐振器的输出电流和最大振动幅度也大幅增加，提高了谐振器的驱动能力。

主权项

1.一种具有多对驱动感应电极的电容式MEMS谐振器，包括：1个振动块、4个振动块支撑梁、4个振动块锚点、4个输入输出电极、4个电极支撑梁及4个电极锚点；其特征在于，所述振动块呈正方形、且通过分别设置于振动块四角的振动块支撑梁与振动块锚点相连，所述输入输出电极设置于振动块的外侧、分别对应振动块的四边、且通过电极支撑梁与电极锚点相连；所述振动块、振动块支撑梁、输入输出电极及电极支撑梁均由多晶硅重掺杂形成，所述振动块分割为1个正方形半导体区与4个梯形半导体区，所述正方形半导体区位于中心、且采用任意掺杂类型，所述4个梯形半导体区围绕正方形半导体区，相邻梯形半导体区采用相反类型掺杂，同时，每个梯形半导体区与相连的振动块支撑梁采用相同类型掺杂、且与对应的输入输出电极采用相反类型掺杂；所述振动块锚点与电极锚点上均设置外接金属电极、用于连接外部电路。/n