[发明专利]太阳能电池片制备工艺中硅片印刷前预处理装置有效
申请号: | 201710167084.1 | 申请日: | 2017-03-20 |
公开(公告)号: | CN106803492B | 公开(公告)日: | 2023-06-20 |
发明(设计)人: | 孙铁囤;姚伟忠;汤平 | 申请(专利权)人: | 常州亿晶光电科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;H01L21/677;H01L21/683;H01L31/18 |
代理公司: | 常州市英诺创信专利代理事务所(普通合伙) 32258 | 代理人: | 郑云 |
地址: | 213000 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明涉及太阳能电池片制备技术领域,尤其是一种太阳能电池片制备工艺中硅片印刷前预处理装置,包括第一皮带输送装置及第二皮带输送装置,第一皮带输送装置与第二皮带输送装置之间设置有支架,支架的顶端设置有平台,平台上转动连接有转盘,转盘的下表面对称设置有第一气缸和第二气缸,第一气缸及第二气缸的伸出端上均固定有回转气缸,支杆的下表面固定有若干吸盘,支架的侧方固定有风扇,本发明垂帘的设置可以将第一皮带输送装置输送过来的硅片进行预处理,保证吸盘可以顺利吸附第一皮带输送装置上的硅片;降低网版被扎破的几率,而且能大幅降低硅片表面的温度,从而降低网版内浆料有机物的挥发速率,能保持较好的印刷性能。 | ||
搜索关键词: | 太阳能电池 制备 工艺 硅片 印刷 预处理 装置 | ||
【主权项】:
一种太阳能电池片制备工艺中硅片印刷前预处理装置,其特征在于:包括第一皮带输送装置(1)及第二皮带输送装置(2),所述第一皮带输送装置(1)与第二皮带输送装置(2)之间设置有支架(3),所述支架(3)的顶端设置有平台(4),所述平台(4)上转动连接有转盘(5),所述平台(4)的下表面固定有电机(6),所述电机(6)的输出端与转盘(5)固定连接,所述转盘(5)的下表面对称设置有第一气缸(7)和第二气缸(8),所述第一气缸(7)及第二气缸(8)的伸出端朝下,所述第一气缸(7)及第二气缸(8)的伸出端上均固定有回转气缸(9),所述回转气缸(9)的输出端上固定有支杆(10),所述支杆(10)的下表面固定有若干吸盘(11),所述转盘(5)上固定有气泵(16),所述气泵(16)与吸盘(11)连通,所述支架(3)的侧方固定有风扇(17);所述第一皮带输送装置(1)上的侧方设置有侧板(18),所述侧板(18)上固定有横板(19),所述横板(19)的下表面等间隔分布有若干条垂帘(20),所述垂帘(20)位于第一皮带输送装置(1)的正上方。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
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